[MKS Korea]

Legacy MKS는 가장 오래된 VSD(Vacuum Solutions Division) 사업부와 2016년부터 인수한 PSD(Photonics Solutions Division) 사업부를 보유하고 있으며, MKS Korea는 용인/대전에 사업장이 위치하고 있습니다. 

ﾷ VSD(Vacuum Solutions Division) 사업부: VSD의 제품 포트폴리오는 압력 및 유량 측정-제어, 가스 및 증기 전달, 가스 구성, 잔류 가스 분석, 누출 감지, 전력, 오존 생성, 반응성 가스 생성 및 진공 기술 분야에 집중되어 있습니다. 반도체용 플라즈마 생산에 필요한 전력을 생성하는 RF Generator와 발생한 전력을 손실 없이 반도체 장비로 전달하는 RF Matcher를 개발하는 연구소가 대전에 있습니다

ﾷ PSD(Photonics Solutions Division) 사업부: PSD 사업부는 Newport, Ophir, Spectra-Physics 그리고 ESI 브랜드로 구성되어 있습니다. Newport의 포토닉스, 모션 포지셔닝 및 광학, Spectra-Physics의 레이저 기술, Ophir의 열화상 광학 분야의 솔루션 그리고 ESI의 산업용 레이저 기반 설비와 미세 제조 테스트 시스템을 제공합니다.